Multi-AOI-system for easy changing angles-of-incidence in ellipsometer, polarimeter and reflectometer systems

   
   

Disclosed is a system for enabling easy sequential setting of different Angles-of-Incidence of a beam of electromagnetic radiation to a surface of a sample system, and to regression based methodology for evaluating and compensating the effects of the presence of electromagnetic beam intercepting angle-of-incidence changing systems, including where desired, parameterization of calibration parameters.

Révélé est un système pour permettre l'arrangement séquentiel facile de l'Angle-de-Incidence différente d'un faisceau de rayonnement électromagnétique sur une surface d'un système témoin, et à la régression a basé la méthodologie pour évaluer et compenser les effets de la présence des systèmes changeants arrêtants d'angle-de-incidence de faisceau électromagnétique, incluant où désiré, paramétrisation des paramètres de calibrage.

 
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< Fiber polarimeter, the use thereof, as well as polarimetric method

< Entangled-photon ellipsometry

> Method for determining ion concentration and energy of shallow junction implants

> Method of measuring small pads on a substrate

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