A projection exposure apparatus includes a projection optical system
arranged to project a pattern onto a substrate, a holding portion arranged
to hold an optical element which propagates light toward the projection
optical system, a mask having a transmission portion and being disposed on
or near an image plane or object plane of the projection optical system or
a plane conjugate to the image plane and the object plane, an actuator
arranged to drive the mask along a plane of an image of the optical
element formed by the projection optical system, and a measurement device
arranged to measure an intensity of light while the mask is driven. The
light emerges from the optical element, and passes through the projection
optical system and the transmission portion of the mask. The measurement
device includes a measurement surface positioned at a plane conjugate to a
pupil plane of the projection optical system or a plane spaced apart from
the mask enough to separately detect respective rays emerging from plural
points of the pupil plane and passing through the transmission portion.
Un'apparecchiatura per l'esposizione della proiezione include un sistema ottico della proiezione organizzato per proiettare un modello su un substrato, una parte della tenuta organizzata per tenere un elemento ottico che propaga la luce verso il sistema ottico della proiezione, una mascherina che ha una parte della trasmissione e che è disposta sopra o avvicina un piano di immagine o piano dell'oggetto del sistema ottico della proiezione o un coniugato dell'aereo all'aereo di immagine e l'aereo dell'oggetto, un azionatore organizzato per guidare la mascherina lungo un piano di un'immagine dell'elemento ottico costituito dal sistema ottico della proiezione e un dispositivo di misura organizzato per misurare un'intensità di luce mentre la mascherina è guidata. La luce emerge dall'elemento ottico ed attraversa il sistema ottico della proiezione e la parte della trasmissione della mascherina. Il dispositivo di misura include una superficie di misura posizionata ad un coniugato dell'aereo su un piano della pupilla del sistema ottico della proiezione o su un aereo spaziato oltre alla mascherina abbastanza per rilevare esclusivamente i raggi rispettivi emergere dai punti plurali dell'aereo della pupilla e passare attraverso la parte della trasmissione.
