A stage system includes a movable stage, a force applying mechanism for
applying, by use of an electromagnet, a force to the stage in a direction
of a magnetic flux generated by the electromagnet, a moving mechanism for
moving the electromagnet in the direction, and a controller for
controlling one of the magnetic force of the electromagnet and a generated
force thereof.
Um sistema do estágio inclui um estágio móvel, uma força que aplicam o mecanismo para aplicar-se, pelo uso de um eletroímã, uma força ao estágio em um sentido de um fluxo magnético gerado pelo eletroímã, um mecanismo movente para mover o eletroímã no sentido, e um controlador para controlar uma da força magnética do eletroímã e de uma força gerada disso.
