Optically scanning apparatus and defect inspection system

   
   

An optically scanning apparatus and defect inspection system able to detect a defect with a high resolution and able to greatly shorten the inspection time. An radiation beam generated from a light source is converted to a light beam array of an m.times.n matrix by a two-dimensional diffraction grating. The light beams of the light beam array are focused into micro spots by an objective lens and projected on a sample. Therefore, a two-dimensional light spot array of an m.times.n matrix is formed on a sample. The sample stage rotates and moves rectilinearly in an r direction, so the sample surface is scanned by the m.times.n matrix of light spots. As a result, the sample surface is spirally scanned by a light beam of a belt shape of the scan width, so can be scanned at a high speed. Further, the beams reflected by the sample surface are received by light receiving elements separated by light blocking members, so a confocal optical system is formed and as a result the resolution of detection of defects becomes much higher.

Ópticamente un aparato de la exploración y un sistema de la inspección del defecto capaz de detectar un defecto con un de alta resolución y capaz de acortar grandemente el tiempo de la inspección. Una viga de la radiación generada de una fuente de luz es convertida a un arsenal de rayo de luz de una matriz de m.times.n por una rejilla de difracción de dos dimensiones. Los rayos de luz del arsenal de rayo de luz son enfocados en puntos micro por una lente objetiva y proyectados en una muestra. Por lo tanto, un arsenal ligero de dos dimensiones del punto de una matriz de m.times.n se forma en una muestra. La etapa de la muestra rota y se mueve rectilíneo en una dirección de r, así que la superficie de la muestra es explorada por la matriz de m.times.n de puntos ligeros. Consecuentemente, la superficie de la muestra es explorada espiral por un rayo de luz de una forma de la correa de la anchura de la exploración, así que se puede explorar en una velocidad. Además, las vigas reflejadas por la superficie de la muestra son recibidas por la luz que recibe los elementos separados por la luz que bloquea a miembros, así que se forma un sistema óptico confocal y consecuentemente la resolución de la detección de defectos llega a ser mucho más alta.

 
Web www.patentalert.com

< Attenuated embedded phase shift photomask blanks

< Ion optics for mass spectrometers

> Devices with optical gain in silicon

> Platen for automatic sampler

~ 00164