Foamed polycrystalline silicon having bubbles therein and an apparent
density of 2.20 g/cm.sup.3 or less. This silicon generates an extremely
small amount of fine grains by crushing and can be easily crushed. There
is also provided a method of producing foamed polycrystalline silicon.
There is further provided a polycrystalline silicon production apparatus
in which the deposition and melting of silicon are carried out on the
inner surface of a cylindrical vessel, a chlorosilane feed pipe is
inserted into the cylindrical vessel to a silicon molten liquid, and seal
gas is supplied into a space between the cylindrical vessel and the
chlorosilane feed pipe.
Silicone polycrystalline espumado que tem bolhas nisso e uma densidade aparente de 2.20 g/cm.sup.3 ou de menos. Este silicone gera um pouco extremamente de grões finas esmagando e pode fàcilmente ser esmagado. É fornecido também um método de produzir o silicone polycrystalline espumado. É fornecido mais mais um instrumento polycrystalline da produção do silicone em que o deposition e o derretimento do silicone são realizados na superfície interna de uma embarcação cilíndrica, uma tubulação de alimentação do chlorosilane é introduzido na embarcação cilíndrica a um líquido derretido do silicone, e o gás do selo é fornecido em um espaço entre a embarcação cilíndrica e a tubulação de alimentação do chlorosilane.
