An apparatus and method for manufacturing ultra-fine particles using an
electrospray device is disclosed. One or more capillary provided at its
tip with a nozzle is positioned within a guide duct and precursors such as
metal organic materials and metal halogen compounds, or nonvolatile
substances or volatile substances are supplied to the capillary. Voltages
are applied to the capillary and the guide duct, respectively, so that a
voltage difference is generated therebetween and the highly charged liquid
droplets from the capillary are sprayed. The sprayed liquid droplets are
carried along the guide duct together with carrier gas injected into the
guide duct. When heat energy is applied to the liquid droplets, chemical
reactions of the liquid droplets occur. A collecting plate positioned in
front of the guide duct collects ultra-fine particles formed by the
chemical reactions.
Ein Apparat und eine Methode für die Produktion der ultra-feinen Partikel, die eine electrospray Vorrichtung verwenden, wird freigegeben. Eine oder mehr Kapillare versahen an seiner Spitze mit einer Düse wird in Position gebracht innerhalb eines Führerluftschachtes und -vorläufer wie Metallorganische Materialien und Metallhalogenmittel, oder permanente Substanz- oder löschbaresubstanzen werden an die Kapillare geliefert. Spannungen werden an der Kapillare angewendet und der Führerluftschacht beziehungsweise damit ein Spannung Unterschied erzeugt wird, therebetween und die in hohem Grade belasteten flüssigen Tröpfchen von der Kapillare werden gesprüht. Die gesprühten flüssigen Tröpfchen werden entlang dem Führerluftschacht zusammen mit dem Fördermaschinegas getragen, das in den Führerluftschacht eingespritzt wird. Wenn Wärmeenergie an den flüssigen Tröpfchen angewendet wird, treten chemische Reaktionen der flüssigen Tröpfchen auf. Eine sammelnde Platte, die vor dem Führerluftschacht in Position gebracht wird, sammelt die ultra-feinen Partikel, die durch die chemischen Reaktionen gebildet werden.
