A 1 dimensional or 2 dimensional array of micromirror devices comprises a
device substrate with a 1st surface and a 2nd surface, control circuitry
disposed on said 1st surface and a plurality of micromirrors disposed on
said 2nd surface. Each micromirror comprises a reflective surface that is
substantially optically flat, with neither recesses nor protrusions. Such
a 1 dimensional or 2 dimensional array of micromirror devices may be used
as a spatial light modulator (SLM). Methods of fabricating arrays of
micromirror devices are also disclosed. Such methods generally involve
providing a device substrate with a 1st surface and a 2nd surface,
fabricating control circuitry on the 1st surface, and fabricating
micromirrors on the 2nd surface, such that the reflective surfaces of the
micromirrors are substantially optically flat, with neither recesses nor
protrusions.
Um 1 dimensional ou a disposição 2 dimensional de dispositivos do micromirror compreende uma carcaça do dispositivo com uma 1a superfície e uma à superfície, os circuitos do controle dispostos em 1a superfície dita e um plurality dos micromirrors dispostos em à superfície dita. Cada micromirror compreende uma superfície reflexiva que seja substancialmente ótica plano, com nem rebaixos nem saliências. Tal 1 dimensional ou a disposição 2 dimensional de dispositivos do micromirror pode ser usado como um modulador claro spatial (SLM). Os métodos de fabricar disposições de dispositivos do micromirror são divulgados também. Tais métodos envolvem geralmente fornecer uma carcaça do dispositivo com uma 1a superfície e uma à superfície, fabricando circuitos do controle na 1a superfície, e fabricando micromirrors na à superfície, tais que as superfícies reflexivas dos micromirrors são substancialmente ótica plano, com nem os rebaixos nem as saliências.
