In an electron beam detector, a light guide optically couples a
fluorescence emitting surface of the compound semiconductor substrate to a
light incident surface of the photodetector, and physically connects the
compound semiconductor substrate with the photodetector, thereby
integrating the compound semiconductor substrate with the photodetector.
When the compound semiconductor substrate converts incident electrons to
fluorescent light, the light guide guides the fluorescent light to the
photodetector, and the photodetector detects the fluorescent light,
thereby detecting the incident electrons.
В детекторе электронного луча, светлый направляющий выступ оптически соединяет флуоресцирование испуская поверхность субстрата составного полупроводника к светлой поверхности случая фотодетектора, и физическ соединяет субстрат составного полупроводника при фотодетектор, таким образом интегрируя субстрат составного полупроводника с фотодетектором. Когда субстрат составного полупроводника преобразовывает электроны случая к дневному свету, направляющий выступ света направляет дневной свет к фотодетектору, и фотодетектор обнаруживает дневной свет, таким образом обнаруживая электроны случая.
