A system for controlling and monitoring a rate of flow of a fluid, such as
a CMP slurry, comprising a pump for pumping the slurry; a flow meter for
monitoring the rate of flow of the slurry; and a controller operably
connected to the flow meter and the pump. The controller receives signals
from the flow meter indicating the rate of flow of the slurry and controls
the operational speed of the pump responsive to the flow meter signals. A
degasser equipped with a level sensor may be further provided in the
system for removing gas bubbles from the slurry.
Ein System für das Steuern und die Überwachung einer Durchflußgeschwindigkeit einer Flüssigkeit, wie eine CMP Schmiere, eine Pumpe für das Pumpen der Schmiere enthalten; ein Strömungsmesser für die Überwachung der Durchflußgeschwindigkeit der Schmiere; und ein Steuerpult schloß operably an den Strömungsmesser und die Pumpe an. Der Steuerpult empfängt Signale vom Strömungsmesser, der die Durchflußgeschwindigkeit der Schmiere anzeigt und steuert die funktionsfähige Geschwindigkeit der Pumpe, die den Strömungsmessersignalen entgegenkommend ist. Ein Entgaser, der mit einem Niveauschalter ausgerüstet wird, kann im System für das Entfernen der Gasluftblasen von der Schmiere weiter zur Verfügung gestellt werden.
