An active matrix substrate includes: electrode wires constituted by gate
electrodes 2 and source electrodes 6 that are arranged in a lattice; an
insulating protection film provided at least on the electrode wires so as
to have openings 11a in predetermined areas on the source electrodes 6;
and a metal layer stacked on the source electrodes 6 in the openings 11a.
Since there is a metal layer stacked on the source electrodes 6, the
source electrodes 6 can be readily increased in thickness and hence
sufficiently reduced in resistance, by means of the metal layer. Thus, the
electrode wires become thicker and more conducting. This way, it becomes
possible to provide active matrix substrates and their methods of
manufacturing that are suitably applicable to, for example, display
devices and image-capturing devices.
Un substrato attivo della tabella include: legare dell'elettrodo costituiti dagli elettrodi di cancello 2 e dagli elettrodi 6 di fonte che sono organizzati in una grata; una pellicola isolante di protezione ha fornito almeno sui legare dell'elettrodo in modo da avere aperture 11a nelle zone predeterminate sugli elettrodi 6 di fonte; e uno strato del metallo impilato sugli elettrodi 6 di fonte nelle aperture 11a. Poiché ci è uno strato del metallo impilato sugli elettrodi 6 di fonte, gli elettrodi 6 di fonte possono essere aumentati prontamente di lo spessore e quindi sufficientemente essere ridotti nella resistenza, per mezzo dello strato del metallo. Quindi, i legare dell'elettrodo diventano più spessi e conducendo. Questo senso, diventa possibile fornire i substrati attivi della tabella ed i loro metodi di manufacturing a che sono adeguatamente applicabili, per esempio, i visualizzatori ed i dispositivi immagine-bloccanti.
