An illumination apparatus for using a beam emitted from a light source to
illuminate an object area includes a condensing optical system for
condensing the beam emitted from the light source, and a reflection type
optical integrator located between the condensing optical system and the
object area, the optical integrator having an m-gonal (where m is an even
number) sectional shape, forming multiple pairs of opposing reflection
surfaces, and reflecting the beam between the multiple pairs of opposing
reflection surfaces, wherein a length L in an axial direction of the
reflection type optical integrator meets the following equations:
R=.PHI./[tan {sin.sup.-1 (sin .theta./n)}]; and
C.times.(A-0.1).times.R.ltoreq.L.ltoreq.C.times.(A+0.1) X R, where n is a
refractive index of a medium between the reflection surfaces, .PHI. is a
distance between the reflection surfaces, .theta. is an angle of
divergence when the beam emitted from the condensing optical system enters
the reflection type optical integrator, C is a constant determined in
relation to the sectional shape of the reflection type optical integrator,
and A is a natural number.
Un aparato de la iluminación para usar una viga emitida de una fuente de luz para iluminar un área del objeto incluye un sistema óptico que condensa para condensar la viga emitida de la fuente de luz, y un tipo integrador óptico situado entre el sistema óptico que condensa y el área del objeto, el integrador óptico de la reflexión que tiene una forma seccional del m-gonal (donde está un número m par), formando pares múltiples de superficies de oposición de la reflexión, y reflejando la viga entre los pares múltiples de superficies de oposición de la reflexión, en donde una longitud L en una dirección axial del tipo integrador óptico de la reflexión resuelve las ecuaciones siguientes: R=.PHI./[tan {sin.sup.-1 (theta./n del pecado)} ]; y C.times.(A-0.1).times.R.ltoreq.L.ltoreq.C.times.(A+0.1) X R, donde está un índice de refracción n de un medio entre las superficies de la reflexión, PHI. es una distancia entre las superficies de la reflexión, theta. es un ángulo de la divergencia cuando la viga emitida del sistema óptico que condensa incorpora el tipo integrador óptico de la reflexión, C es una constante determinada en lo referente a la forma seccional del tipo integrador óptico de la reflexión, y A es un número natural.
