The Xray irradiation device 1 issues Xrays to board mark 7 and projects the
image of the board mark 7 on the fluorescence screen 3, the fluorescence
face 39 of which visibly displays the image of the board mark 7 that can
be captured by the CCD camera 2. The CCD camera 2 images the board mark 7
and the mask mark 5 depicted on the photo mask 4 overlapping together. The
board 6 and the photo mask 4 are aligned by exposure stage 8 so as to the
board mark 7 and the mask mark 5 coincide.
Le dispositif 1 d'irradiation de rayon X publie des rayons X pour embarquer la marque 7 et projette l'image de la marque 7 de conseil sur l'écran 3 de fluorescence, le visage de fluorescence dont 39 montre visiblement l'image de la marque 7 de conseil qui peut être capturée par l'appareil-photo 2 de CCD. Les images de l'appareil-photo 2 de CCD la marque 7 de conseil et la marque 5 de masque ont dépeint sur le masque 4 de photo recouvrant ensemble. Le panneau 6 et le masque 4 de photo sont alignés par l'étape 8 d'exposition la marque 7 de conseil et la marque 5 de masque coïncident.
