One embodiment of the invention provides a system that facilitates
auto-alignment of images for defect inspection and defect analysis. The
system operates by first receiving a reference image and a test image.
Next, the system creates a horizontal cut line across the reference image
and chooses a vertical feature on the reference image with a specified
width along the horizontal cut line. The system also creates a vertical
cut line across the reference image and chooses a horizontal feature on
the reference image with the specified width along the vertical cut line.
Finally, the system locates the vertical feature and the horizontal
feature on the test image so that the reference image and the test image
can be aligned to perform defect inspection and defect analysis.
Μια ενσωμάτωση της εφεύρεσης παρέχει ένα σύστημα που διευκολύνει την αυτόματος-ευθυγράμμιση των εικόνων για την επιθεώρηση ατέλειας και την ανάλυση ατέλειας. Το σύστημα λειτουργεί με πρώτα να λάβει μια εικόνα αναφοράς και μια εικόνα δοκιμής. Έπειτα, το σύστημα δημιουργεί μια οριζόντια γραμμή περικοπών πέρα από την εικόνα αναφοράς και επιλέγει ένα κάθετο χαρακτηριστικό γνώρισμα στην εικόνα αναφοράς με ένα διευκρινισμένο πλάτος σύμφωνα με την οριζόντια γραμμή περικοπών. Το σύστημα δημιουργεί επίσης μια κάθετη γραμμή περικοπών πέρα από την εικόνα αναφοράς και επιλέγει ένα οριζόντιο χαρακτηριστικό γνώρισμα στην εικόνα αναφοράς με το διευκρινισμένο πλάτος σύμφωνα με την κάθετη γραμμή περικοπών. Τέλος, το σύστημα εντοπίζει το κάθετο χαρακτηριστικό γνώρισμα και το οριζόντιο χαρακτηριστικό γνώρισμα στην εικόνα δοκιμής έτσι ώστε η εικόνα αναφοράς και η εικόνα δοκιμής μπορούν να ευθυγραμμιστούν για να εκτελέσουν την επιθεώρηση ατέλειας και την ανάλυση ατέλειας.
