During a series of processes performed on a substrate in a substrate
processing apparatus, processing history data containing items such as
transport time, processing time, plate temperature, revolution per minute
of spin motors and flow rate of solutions is obtained for each substrate.
When a substrate with a process defect is detected in an inspection
block, the processing history data on that substrate is compared with
reference data. A processing unit or transport robot in which processing
history data falls outside a predetermined range set as the reference
data is judged as abnormal, whereby a defective processing unit or
defective transport robot is identified. Thus provided is a substrate
processing apparatus capable of identifying a defective processing unit
or defective transport robot quickly and accurately.
Durante la serie di processi realizzati su un substrato in un substrato procedere l'apparecchio, procedente i dati di storia che contengono gli articoli quali tempo di trasporto, tempo di lavorazione, la temperatura della piastra, il giro al minuto dei motori di rotazione e la portata delle soluzioni è ottenuta per ogni substrato. Quando un substrato con un difetto trattato è rilevato in un blocchetto di controllo, i dati d'elaborazione di storia su quel substrato sono paragonati ai dati di riferimento. Un robot di trasporto o dell'unità di elaborazione in cui procedendo la parte esterna di cadute di dati di storia una gamma predeterminata si è regolata come i dati di riferimento sono giudicati come anormali, per cui un'unità di elaborazione difettosa o un robot difettoso di trasporto è identificata. Così è fornito un substrato che procede l'apparecchio capace di identificare un'unità di elaborazione difettosa o un robot difettoso di trasporto rapidamente ed esattamente.
