A clean room has an equipment installation area where an apparatus for
treating an object to be treated such as a semiconductor wafer is
installed, a process area 4 where the object is loaded in or unloaded from
the apparatus, and an operation area where operations of the apparatus are
executed. The equipment installation area, the process area and the
operation area are arranged horizontally in the above-stated order and
separated by partitions. These areas are air-conditioned independently of
one another. The clean room is thus capable of preventing contamination of
the object and a running cost of chemical filters in the clean room is
reduced.
Ένα καθαρό δωμάτιο έχει μια περιοχή εγκαταστάσεων εξοπλισμού όπου μια συσκευή για ένα αντικείμενο που αντιμετωπίζεται όπως μια γκοφρέτα ημιαγωγών εγκαθίσταται, μια περιοχή διαδικασίας 4 όπου το αντικείμενο φορτώνεται μέσα ή ξεφορτώνεται από τις συσκευές, και μια περιοχή λειτουργίας όπου οι διαδικασίες των συσκευών εκτελούνται. Η περιοχή εγκαταστάσεων εξοπλισμού, η περιοχή διαδικασίας και η περιοχή λειτουργίας τακτοποιούνται οριζόντια στην επάνω από-δηλωμένη διαταγή και χωρίζονται από τα χωρίσματα. Αυτές οι περιοχές είναι κλιματιζόμενες ανεξάρτητα από το ένα άλλη. Το καθαρό δωμάτιο είναι έτσι σε θέση τη μόλυνση του αντικειμένου και ένα τρέχον κόστος των χημικών φίλτρων στο καθαρό δωμάτιο μειώνεται.
