Disclosed herein are a wafer inspection apparatus which is small in size,
prevented from shortening the service life of its circuit board for
inspection, can collectively perform inspection as to a great number of
electrodes to be inspected, has good electrical properties and can perform
electrical inspection of high functional integrated circuits, and an
anisotropically conductive sheet suitable for use in this wafer inspection
apparatus. The anisotropically conductive sheet is composed of an
insulating sheet body, in which a through-hole has been formed, and an
elastic anisotropically conductive film arranged in the through-hole. The
insulating sheet body is formed of a material having a modulus of
elasticity of 1.times.10.sup.8 to 1.times.10.sup.10 Pa, a coefficient of
linear thermal expansion of 3.times.10.sup.-6 to 3.times.10.sup.-5
K.sup.-1 and a saturation magnetization lower than 0.1 wb/m.sup.2, the
elastic anisotropically conductive film is composed of a plurality of
conductive path-forming portions and insulating portions formed among
these conductive path-forming portions, the conductive path-forming
portions are obtained by filling conductive particles having a number
average particle diameter of 30 to 150 .mu.m, a coating layer composed of
a noble metal and having a thickness of at least 20 nm is formed on
surfaces of the conductive particles, each of the conductive path-forming
portions has a durometer hardness of 15 to 45, and an electric resistance
between conductive path-forming portions is at least 10 M.OMEGA..
È rilevata qui un'apparecchiatura di controllo della cialda che è piccola nel formato, evitato la riduzione del tempo di impiego del relativo bordo del circuito per controllo, può realizzare collettivamente il controllo quanto a tantissimi elettrodi da controllare, ha buone proprietà elettriche e può effettuare il controllo elettrico di alti circuiti integrati funzionali e un foglio anisotropically conduttivo adatto ad uso in questa apparecchiatura di controllo della cialda. Il foglio anisotropically conduttivo si compone di corpo isolante del foglio, in cui un attraverso-foro è stato formato e di pellicola anisotropically conduttiva dell'elastico organizzata nel attraverso-foro. Il corpo isolante del foglio è formato di un materiale che ha un modulo di elasticità di 1.times.10.sup.8 a PA 1.times.10.sup.10, un coefficente di espansione termica lineare di 3.times.10.sup.-6 a 3.times.10.sup.-5 K.sup.-1 e una magnetizzazione di saturazione più basso di 0.1 wb/m.sup.2, la pellicola anisotropically conduttiva dell'elastico si compone di pluralità di parti percorso-formanti conduttive e di parti isolanti formate fra queste parti percorso-formanti conduttive, le parti percorso-formanti conduttive sono ottenute riempiendo le particelle conduttive che hanno un diametro medio della particella di numero 30 - 150 di mu.m, uno strato ricoprente composto di metallo nobile ed avere uno spessore almeno di 20 che il nm è formato sulle superfici delle particelle conduttive, ciascuna delle parti percorso-formanti conduttive ha una durezza del durometro di 15 - 45 e una resistenza elettrica fra le parti percorso-formanti conduttive è almeno 10 M.OMEGA..
