An optical configuration suited to the monitoring of a process flow through
the wall of a containment vessel for producing a high-quality, high-NA
sample focus and reduced residual positive spherical aberration. The
invention includes an optical path with a window extending through, and
sealed to, the wall of the containment vessel, and an optical surface
disposed in the optical path associated with minimizing aberration,
increasing numerical aperture, or both. The window has a surface facing
into the process flow and a surface facing away from the process flow and,
the surface facing away from the process flow is associated with
minimizing aberration or increasing numerical aperture. A lens is disposed
outside the containment vessel and in the optical path, with the surface
of the window facing the lens being substantially spherical. With such an
arrangement, the light rays of the optical path are generally normal to
the surface of the window facing the lens.
Een optische configuratie paste voor het toezicht op een processtroom aan door de muur van een insluitingsschip voor het veroorzaken van een uitstekende kwaliteit, hoog-Na steekproefnadruk en verminderde overblijvende positieve sferische aberratie. De uitvinding omvat een optische weg met een venster door zich uitbreidt, en verzegeld tot, de muur van het insluitingsschip, en een optische geschikte oppervlakte in de optische weg verbonden aan het minimaliseren van aberratie, die numerieke opening, of allebei verhoogt. Het venster heeft een oppervlakte die in de processtroom onder ogen ziet en een oppervlakte die vanaf de processtroom onder ogen ziet en, wordt de oppervlakte die vanaf de processtroom onder ogen ziet geassocieerd met het minimaliseren van aberratie of het verhogen van numerieke opening. Een lens wordt geschikt buiten het insluitingsschip en in de optische weg, met de oppervlakte van het venster dat de lens onder ogen ziet die wezenlijk sferisch is. Met een dergelijke regeling, zijn de lichte stralen van de optische weg over het algemeen normaal aan de oppervlakte van het venster dat de lens onder ogen ziet.
