Method for evaluating image formation performance

   
   

The present invention accomplishes an evaluation of image formation performance in which the influence of a coat is accurately reflected. According to the present invention, for the evaluation of image formation performance of an optical system obtained is a pupil transmittance distribution (a distribution of light transmittance on an exit pupil surface) of a light beam that enters an image point to be evaluated of the optical system. At least one of a rotational symmetrical component, an odd symmetrical component, and an even symmetrical component is extracted from the obtained pupil transmittance distribution as an evaluation index.

Die anwesende Erfindung vollendet eine Auswertung der Bildanordnung Leistung, in der der Einfluß eines Mantels genau reflektiert wird. Entsprechend der anwesenden Erfindung denn der Auswertung der Bildanordnung Leistung eines optischen erhaltenen Systems ist eine Pupillebeförderungverteilung (eine Verteilung der hellen Beförderung auf einer Ausgang Pupilleoberfläche) eines Lichtstrahls, der einen vom einträgt optischen System ausgewertet zu werden Bildpunkt. Ein mindestens eines symmetrischen Rotationsbestandteils, ein ungerader symmetrischer Bestandteil und ein sogar symmetrischer Bestandteil wird von der erreichten Pupillebeförderungverteilung als Auswertung Index extrahiert.

 
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