Optical sensor for distance measurement

   
   

Apparatus and method are provided for distance measurement to a remote surface using high frequency modulated transmitted and reflected laser beams and phase-shift calculations. To improve phase-shift resolution, the reflected bean is further modulated, before detection, at a high frequency similar yet different from that of the transmitted beam so as create a resulting detector signal having at least a lower frequency signal which is easily detected by a response limited detector. The lower frequency signal retains the phase-shift information and thus enables determination of the phase-shift information with stable, inexpensive low-frequency optical detectors. Three-dimensional mapping can performed wherein one or more apparatus employ a plurality of detectors or a scanner producing a plurality of sequential reflected beams, each of which results in a plurality of phase-shift information for an area on the surface.

Des matériel et la méthode sont donnés pour la mesure de distance à une surface à distance en utilisant les rayons laser de haute fréquence modulée et les calculs transmis et reflétés de déphasage. Pour améliorer la résolution de déphasage, l'haricot reflété est encore modulé, avant détection, à un semblable à haute fréquence pourtant différent de cela du faisceau transmis pour créez un signal résultant de détecteur ayant au moins un signal de plus basse fréquence qui est facilement détecté par un détecteur limité par réponse. Fréquence plus basse le signal maintient l'information de déphasage et permet ainsi la détermination de l'information de déphasage avec l'écurie, détecteurs optiques de basse fréquence peu coûteux. Le bidon traçant tridimensionnel a exécuté où un ou plusieurs appareils utilisent une pluralité de détecteurs ou d'un module de balayage produisant une pluralité de faisceaux reflétés séquentiels, dont chacun a comme conséquence une pluralité d'information de déphasage pour un secteur sur la surface.

 
Web www.patentalert.com

< Optical interconnection apparatus and interconnection module

< Interferometric alignment system for use in vacuum-based lithographic apparatus

> Optically assisted magnetic recording device, optically assisted magnetic recording head and magnetic disk device

> Optical disk apparatus and method for adjusting optical disk appparatus laser power

~ 00171