A film deposition apparatus equipped with a vacuum chamber, comprising a
pair of rollers for vertically traveling a continuous sheet as a
substrate, and a pair of sputtering cathodes for continuously depositing
the film on the surfaces of the sheet in the vacuum chamber. The cathodes
are vertically arranged and horizontally faced each other. The sheet is
traveled between a pair of the cathodes. The apparatus and the film
deposition process using it make it possible to deposit a film even on
surfaces of a flexible sheet without causing problems such as defective
film deposition or abnormal discharge, while ensuring stable, continuous,
long-term operation.
Un aparato de la deposición de la película equipado de un compartimiento del vacío, abarcando un par de los rodillos para verticalmente viajar una hoja continua como substrato, y un par de los cátodos de la farfulla para continuamente depositar la película en las superficies de la hoja en el compartimiento del vacío. Los cátodos se arreglan verticalmente y horizontalmente se hacen frente. La hoja se viaja entre un par de los cátodos. Los aparatos y la deposición de la película de proceso con la permiten depositar una película uniforme en superficies de una hoja flexible sin causar problemas tales como deposición defectuosa de la película o descarga anormal, mientras que se aseguran estables, operación continua, a largo plazo.
