An illumination optical system for illuminating a mask using light from a
light source includes a shape varying mechanism for continuously making a
shape of an effective light source variable, wherein the shape varying
mechanism includes a first stop plate that has a first aperture part for
allowing the light to pass through the first aperture part, and a second
stop plate that has second aperture part for allowing the light that has
passed through the first stop plate through the second aperture part.
Um sistema ótico da iluminação para iluminar uma máscara que usa a luz de uma fonte clara inclui um mecanismo variando da forma para continuamente fazer uma forma de uma variável eficaz da fonte clara, wherein o mecanismo variando da forma inclui uma primeira placa de batente que tenha uma primeira peça da abertura para permitir que a luz passe através da primeira peça da abertura, e de uma segunda placa de batente que tenha a segunda peça da abertura para permitir a luz que passou através da primeira placa de batente através da segunda peça da abertura.
