A method of fabricating an acoustic resonator includes forming a
ferromagnetic compensator, such as one comprised of a nickel-iron alloy,
which at least partially offsets temperature-induced effects introduced by
an electrode-piezoelectric stack. The compensator has a positive
temperature coefficient of frequency, while the stack has a negative
temperature coefficient of frequency. By properly selecting the thickness
of the compensator, temperature-induced effects on resonance may be
neutralized. Alternatively, the thickness can be selected to provide a
target positive or negative composite temperature coefficient of
frequency. In order to prevent undue electromagnetic losses in the
ferromagnetic compensator, a metallic flashing layer may be added to at
least partially enclose the compensator.
Метод изготовлять акустический резонатор вклюает формировать сегнетомагнитный компенсатор, such as одно, котор состоят из nickel-iron сплава, который по крайней мере частично возмещает температур-navedennye влияния введенные электрод-p6ezo3lektriceskim стогом. Компенсатор имеет положительный коэффициент температуры частоты, пока стог имеет отрицательный коэффициент температуры частоты. правильн выбирать толщину компенсатора, температур-navedennye влияния на резонансе могут быть нейтрализованы. Друг, толщину можно выбрать для того чтобы обеспечить коэффициент цели положительный или отрицательный составной температуры частоты. Для того чтобы предотвратить undue электромагнитные потери в сегнетомагнитном компенсаторе, металлический проблескивая слой может быть добавлены, что по крайней мере частично заключил компенсатор.