Method of making an acoustic wave resonator

   
   

A method of fabricating an acoustic resonator includes forming a ferromagnetic compensator, such as one comprised of a nickel-iron alloy, which at least partially offsets temperature-induced effects introduced by an electrode-piezoelectric stack. The compensator has a positive temperature coefficient of frequency, while the stack has a negative temperature coefficient of frequency. By properly selecting the thickness of the compensator, temperature-induced effects on resonance may be neutralized. Alternatively, the thickness can be selected to provide a target positive or negative composite temperature coefficient of frequency. In order to prevent undue electromagnetic losses in the ferromagnetic compensator, a metallic flashing layer may be added to at least partially enclose the compensator.

Метод изготовлять акустический резонатор вклюает формировать сегнетомагнитный компенсатор, such as одно, котор состоят из nickel-iron сплава, который по крайней мере частично возмещает температур-navedennye влияния введенные электрод-p6ezo3lektriceskim стогом. Компенсатор имеет положительный коэффициент температуры частоты, пока стог имеет отрицательный коэффициент температуры частоты. правильн выбирать толщину компенсатора, температур-navedennye влияния на резонансе могут быть нейтрализованы. Друг, толщину можно выбрать для того чтобы обеспечить коэффициент цели положительный или отрицательный составной температуры частоты. Для того чтобы предотвратить undue электромагнитные потери в сегнетомагнитном компенсаторе, металлический проблескивая слой может быть добавлены, что по крайней мере частично заключил компенсатор.

 
Web www.patentalert.com

< Blind transport format detection for communication

< Method for producing thin film bulk acoustic resonators (FBARs) with different frequencies on the same substrate by subtracting method and apparatus embodying the method

> Tiling process for constructing a chemical array

> Damped longitudinal mode latching relay

~ 00172