A method for fabricating a resonator, and in particular, a thin film bulk
acoustic resonator (FBAR), and a resonator embodying the method are
disclosed. An FBAR is fabricated on a substrate by reducing mass from a
top electrode layer. For a substrate having multiple resonators, mass is
reduced from only selected resonator to provide resonators having
different resonance frequencies on the same substrate.
Un método para fabricar un resonador, y en detalle, un resonador acústico del bulto de la película fina (FBAR), y un resonador que incorpora el método se divulgan. Un FBAR es fabricado en un substrato reduciendo la masa de una capa superior del electrodo. Para un substrato que tiene resonadores múltiples, la masa se reduce solamente de resonador seleccionado para proporcionar los resonadores que tienen diversas frecuencias de la resonancia en el mismo substrato.
