A composition capable of forming a metal ruthenium film and a ruthenium
oxide film by a simple application/baking process, a process for forming a
metal ruthenium film and a ruthenium oxide film from the composition, a
metal ruthenium film and a ruthenium oxide film formed by the process, and
electrodes formed of the films.
A solution composition comprising a specific ruthenium complex. The coating
film of this solution composition is heated in an atmosphere containing no
oxygen or an atmosphere containing oxygen to form a metal ruthenium film
or a ruthenium oxide film, respectively, and electrodes formed of the
films.
Ein Aufbau, der zur Formung eines Metallrutheniumfilmes und des Rutheniumoxidfilmes durch einen einfachen application/baking Prozeß, einen Prozeß für die Formung eines Metallrutheniumfilmes und des Rutheniumoxidfilmes vom Aufbau, des Metallrutheniumfilmes und des Rutheniumoxidfilmes gebildet wurde durch den Prozeß und die Elektroden fähig ist, bildete sich von den Filmen. Ein Lösung Aufbau, der einen spezifischen Rutheniumkomplex enthält. Der beschichtende Film dieses Lösung Aufbaus wird in einer Atmosphäre geheizt, die keinen Sauerstoff enthalten oder eine Atmosphäre, die Sauerstoff enthält, um einen Metallrutheniumfilm zu bilden oder ein Rutheniumoxidfilm, beziehungsweise und die Elektroden gebildet werden von den Filmen.
