Materials suitable for fabricating optical monitors include amorphous,
polycrystalline and microcrystalline materials. Semitransparent
photodetector materials may be based on silicon or silicon and germanium
alloys. Conductors for connecting to and contacting the photodetector may
be made from various transparent oxides, including zinc oxide, tin oxide
and indium tin oxide. Optical monitor structures based on PIN diodes take
advantage of the materials disclosed. Various contact, lineout, substrate
and interconnect structures optimize the monitors for integration with
various light sources, including vertical cavity surface emitting laser
(VCSEL) arrays. Complete integrated structures include a light source,
optical monitor and either a package or waveguide into which light is
directed.
Τα υλικά κατάλληλα για τα οπτικά όργανα ελέγχου περιλαμβάνουν τα άμορφα, πολυκρυσταλλικά και μικροκρυσταλλικά υλικά. Τα ημιδιάφανα υλικά φωτοανιχνευτών μπορούν να βασιστούν στο πυρίτιο ή τα κράματα πυριτίου και γερμανίου. Οι αγωγοί για τη σύνδεση με και την επαφή του φωτοανιχνευτή μπορούν να γίνουν από τα διάφορα διαφανή οξείδια, συμπεριλαμβανομένου του οξειδίου ψευδάργυρου, του οξειδίου κασσίτερου και του οξειδίου κασσίτερου ίνδιου. Οι οπτικές δομές οργάνων ελέγχου βασισμένες στις διόδους ΚΑΡΦΙΤΣΩΝ εκμεταλλεύονται τα υλικά αποκαλυπτόμενα. Η διάφορη επαφή, lineout, το υπόστρωμα και διασυνδέουν τις δομές βελτιστοποιούν τα όργανα ελέγχου για την ολοκλήρωση με τις διάφορες πηγές φωτός, συμπεριλαμβανομένης της κάθετης επιφάνειας κοιλοτήτων εκπέμποντας τις σειρές λέιζερ (VCSEL). Οι πλήρεις ενσωματωμένες δομές περιλαμβάνουν μια πηγή φωτός, οπτικό όργανο ελέγχου και είτε μια συσκευασία είτε ο κυματοδηγός στους οποίους ανάψτε κατευθύνεται.
