An apparatus is disclosed for remotely monitoring and developing steps in a
semiconductor manufacturing process that includes, at least one remote
workstation connected via a remote access link to a local workstation, and
a test system connected via a link to the local workstation. A method is
also disclosed that includes running a semiconductor test system remotely,
monitoring the semiconductor test system remotely, and receiving data from
the semiconductor test system remotely. Another embodiment includes an
apparatus for remotely monitoring and developing steps in a semiconductor
manufacturing process. This embodiment includes a plurality of remote
workstations each connected via a remote access link to a local
workstation, and a test system connected via a link to a local
workstation. Security features in this embodiment prevent any one remote
workstation from accessing any other remote workstation.
Μια συσκευή αποκαλύπτεται για μακρινά να ελέγξει και να αναπτύξει τα βήματα σε μια διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών που περιλαμβάνει, τουλάχιστον ένας μακρινός τερματικός σταθμός που συνδέονται μέσω μιας σύνδεσης εξ' αποστάσεως πρόσβασης με έναν τοπικό τερματικό σταθμό, και ένα σύστημα δοκιμής που συνδέεται μέσω μιας σύνδεσης με τον τοπικό τερματικό σταθμό. Μια μέθοδος αποκαλύπτεται επίσης που περιλαμβάνει να τρέξει ένα σύστημα δοκιμής ημιαγωγών μακρινά, να ελέγξει το σύστημα δοκιμής ημιαγωγών μακρινά, και να λάβει τα στοιχεία από το σύστημα δοκιμής ημιαγωγών μακρινά. Μια άλλη ενσωμάτωση περιλαμβάνει μια συσκευή για μακρινά και τα βήματα σε μια διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Αυτή η ενσωμάτωση περιλαμβάνει μια πολλαπλότητα των μακρινών τερματικών σταθμών κάθε μια που συνδέεται μέσω μιας σύνδεσης εξ' αποστάσεως πρόσβασης με έναν τοπικό τερματικό σταθμό, και ένα σύστημα δοκιμής που συνδέεται μέσω μιας σύνδεσης με έναν τοπικό τερματικό σταθμό. Τα χαρακτηριστικά γνωρίσματα ασφάλειας σε αυτήν την ενσωμάτωση αποτρέπουν οποιοδήποτε μακρινό τερματικό σταθμό από την πρόσβαση σε οποιουδήποτε άλλουδήποτε μακρινού τερματικού σταθμού.
