A method for optically detecting a trench depth includes detecting a first
maxima in an intensity of multi-wavelength light. A portion of the
multi-wavelength light is reflected from a top trench surface. A second
maxima in an intensity of multi-wavelength light is also detected. A
portion of the multi-wavelength light is reflected from a bottom trench
surface. A maxima peak separation between the first maxima and the second
maxima is determined. The trench depth corresponds to the maxima peak
separation.
Eine Methode für eine Grabentiefe optisch ermitteln schließt das Ermitteln erste Maxima in einer Intensität des Multiwellenlänge Lichtes ein. Ein Teil des Multiwellenlänge Lichtes wird von einer oberen Grabenoberfläche reflektiert. Wird zweite Maxima in einer Intensität des Multiwellenlänge Lichtes auch ermittelt. Ein Teil des Multiwellenlänge Lichtes wird von einer unteren Grabenoberfläche reflektiert. Eine Maximumhöchsttrennung zwischen den ersten Maxima und den zweiten Maxima wird festgestellt. Die Grabentiefe entspricht der Maximumhöchsttrennung.
