Ceramic heater for semiconductor manufacturing and inspecting equipment

   
   

An object of the present invention is to provide a ceramic heater for a semiconductor producing/examining device which is capable of accurately measuring the temperature of an object to be heated and evenly heating the whole body of a silicon wafer by adjusting the heating state of a heating element based on the temperature measurement result, and the ceramic heater for a semiconductor producing/examining device of the present invention is a ceramic heater including a ceramic substrate and a heating element formed on the surface or the inside of the ceramic substrate, wherein a temperature measurement element is formed while being brought into contact with the ceramic substrate and the surface roughness of the ceramic substrate brought into contact with the temperature measurement element is Ra.ltoreq.5 .mu.m.

Un oggetto di presente invenzione è fornire un riscaldatore di ceramica per un dispositivo a semiconduttore producing/examining che è capace esattamente di misurazione della temperatura di un oggetto da riscaldare e perfino riscaldando il corpo intero di una lastra di silicio registrando il heating dichiari di un elemento riscaldante basato sul risultato di misura di temperatura ed il riscaldatore di ceramica per un dispositivo a semiconduttore producing/examining di presente invenzione è un riscaldatore di ceramica compreso un substrato di ceramica e un elemento riscaldante formati sulla superficie o la parte interna del substrato di ceramica, in cui un elemento di misura di temperatura è formato mentre essendo mettendo in contatto con il substrato di ceramica e la rugosità di superficie del substrato di ceramica portato in il contatto con l'elemento di misura di temperatura è mu.m Ra.ltoreq.5.

 
Web www.patentalert.com

< Ethylene derivative having a nitrogen-containing 7-membered ring

< Organic electroluminescent device and a method of manufacturing thereof

> Ferroelectric memory device

> Optical deflector and optical switch

~ 00174