An optical MEMS devices is imaged to a different location at which a second
optical MEMS device is located in a manner that effectively combines the
tilt angles of at least one micro mirror of each of the first and second
optical devices. The imaging system may reproduce the angle of reflection
of the light from the first micro mirror. This may be achieved using a
telecentric system, also known as a 4 f system, as the imaging system. The
physical size of the arrangement may be reduced by compacting the optical
path, e.g., using appropriate conventional mirrors, and/or employing
folded arrangements, i.e., arrangements in which there is only one MEMS
device stage that does double duty for both input and output through the
use of at least one conventional mirror.
Приспособления оптически MEMS imaged к по-разному положению на второе оптически приспособление MEMS расположено in a manner эффективно совмещает углы наклона по крайней мере одного микро- зеркала каждого из первых и вторых оптических приборов. Система воображения может воспроизвести угол отражения света от первого микро- зеркала. Это может быть достигано использующ telecentric систему, также известную как система 4 ф, как система воображения. Физический размер расположения может быть уменьшен путем компактировать оптически курс, например, использующ соотвествующие обычные зеркала, and/or использующ сложенные расположения, т.е., расположения в которых там только один этап приспособления MEMS который удваивает обязанность и после того как для он input и выход через пользу по крайней мере одного обычного зеркала.
