A probe assembly suited for use in a scanning probe microscope (SPM) system
includes a cantilever having an attachment to a main body portion. A
suitable tip disposed at the free end of the cantilever provides various
functions. According to various embodiments of the invention, an
interference structure is provided to limit the range of deflection of the
probe.
Un montaje de la punta de prueba satisfecho para el uso en un sistema del microscopio de la punta de prueba de la exploración (SPM) incluye un voladizo teniendo un accesorio a una porción del cuerpo principal. Una extremidad conveniente dispuesta en el final libre del voladizo proporciona varias funciones. Según las varias encarnaciones de la invención, una estructura de interferencia se proporciona para limitar la gama de la desviación de la punta de prueba.
