An electrokinetic pump for pumping a liquid includes a pumping body having
a plurality of narrow, short and straight pore apertures for channeling
the liquid through the body. A pair of electrodes for applying a voltage
differential are formed on opposing surfaces of the pumping body at
opposite ends of the pore apertures. The pumping body is formed on a
support structure to maintain a mechanical integrity of the pumping body.
The pump can be fabricated using conventional semiconductor processing
steps. The pores are preferably formed using plasma etching. The structure
is oxidized to insulate the structure and also narrow the pores. A support
structure is formed by etching a substrate and removing an interface oxide
layer. Electrodes are formed to apply a voltage potential across the
pumping body. Another method of fabricating an electrokinetic pump
includes providing etch stop alignment marks so that the etch step
self-terminates.
Una pompa elettrocinetica per il pompaggio del liquido include un corpo di pompaggio che ha una pluralità di aperture strette, corte e diritte del poro per scavare canali il liquido attraverso il corpo. Un accoppiamento degli elettrodi per l'applicazione del differenziale di tensione è formato sulle superfici avversarie del corpo di pompaggio alle estremità opposte delle aperture del poro. Il corpo di pompaggio è formato su una struttura di sostegno per effettuare un'integrità meccanica del corpo di pompaggio. La pompa può essere fabbricata usando le fasi di lavorazione a semiconduttore convenzionale. I pori sono formati preferibilmente usando acquaforte del plasma. La struttura è ossidata per isolare la struttura ed anche per limitare i pori. Una struttura di sostegno è costituita dall'incidere un substrato all'acquaforte e dalla rimozione dello strato dell'ossido dell'interfaccia. Gli elettrodi sono formati per applicare un potenziale di tensione attraverso il corpo di pompaggio. Un altro metodo di fabbricare una pompa elettrocinetica include fornire i contrassegni di allineamento di arresto incissione all'acquaforte in modo che il punto incissione all'acquaforte auto-termini.
