A positive chemical amplified photoresist composition comprising as a matrix resin a polymer having the repeating unit of Formula (I) and a photoacid generator. The polymer ranges, in polystyrene-reduced weight average molecular weight, from about 2,000 to 1,000,000. The photoresist composition is possible to develop in alkali and shows excellent sensitivity, resolution and transmissivity to deep uv light in addition to being superior in storage preservativity. The repeating unit is: ##STR1## wherein, R.sub.1, R.sub.2 and R.sub.3 are independently represented by a hydrogen atom or a methyl group; R.sub.4 is a hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxy group; R.sub.5, R.sub.6 and R.sub.7 are independently represented by a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, a t-butyl group, a tetrahydropyranyl group or an alkoxymethylene group; j is an integer of 1-8; k is an integer of 0-8; and l, m and n each represent a mole ratio, satisfying the condition of 1=0.1.about.0.5/l+m+n, m=0.3.about.0.8/l+m+n, n=0.1.about.0.4/l+m+n and l+m+n+l. The acid labile protective group can be the t-butyl group, the tetrahydropyranyl group or the alkoxymethylene group.

Ein positive Chemikalie verstärkter Photoresistaufbau, der als Matrixharz ein Polymer-Plastik hat die wiederholende Maßeinheit von Formel (i) und von photoacid Generator enthält. Das Polymer-Plastik erstreckt sich, in Polystyren-verringertem Gewichtdurchschnitt Molekulargewicht, von ungefähr 2.000 bis 1.000.000. Der Photoresistaufbau ist möglich, um sich im Alkali zu entwickeln und zeigt ausgezeichnete Empfindlichkeit, Auflösung und Transmissivität zum tiefen UVLICHT zusätzlich zum Sein- überlegen im Speicherpreservativity. Die wiederholende Maßeinheit ist: ## STR1 ## worin, R.sub.1, R.sub.2 und R.sub.3 unabhängig von einem Wasserstoffatom oder von einer Methyl- Gruppe dargestellt werden; R.sub.4 ist ein Wasserstoffatom, eine Alkylgruppe oder eine alkoxy Gruppe; R.sub.5, R.sub.6 und R.sub.7 werden unabhängig durch ein Wasserstoffatom, eine Methyl- Gruppe, eine Ethylgruppe, eine Tbutylgruppe, eine tetrahydropyranyl Gruppe oder eine alkoxymethylene Gruppe dargestellt; J ist eine Ganzzahl von 1-8; k ist eine Ganzzahl von 0-8; und L, m und n jedes stellen ein Molverhältnis dar und erfüllen den Zustand von 1=0.1.about.0.5/l+m+n, m=0.3.about.0.8/l+m+n, n=0.1.about.0.4/l+m+n und l+m+n+l. Die saure labile schützende Gruppe kann die Tbutylgruppe, die tetrahydropyranyl Gruppe oder die alkoxymethylene Gruppe sein.