A temperature control system for a thermal reactor is disclosed that addresses many of the problems in the art. In accordance with one aspect of the disclosed control system, a plurality of temperature controllers are employed. Each temperature controller employs one or more dynamic models that are optimized for a given temperature range. The temperature range over which a particular controller is optimized is preferably generally exclusive of the temperature ranges over which other controllers of the plurality of temperature controllers are optimized. In accordance with another aspect of the control system, the control system employs enhanced ramp trajectory logic. In accordance with another aspect of the control system, the control system employs a virtual temperature sensor in the event of a hardware failure of the corresponding non-virtual temperature sensor. Upon the detection of a failure of the non-virtual temperature sensor, the temperature control system automatically substitutes a virtual temperature sensor in its place as a control system input. In accordance with a still further aspect of the temperature control system, the control system is provided with control logic that switches the control mode of the system in the event of a failure of a heating element. All of the foregoing aspect of the present invention may be combined into a single temperature controller. Alternatively, these temperature control system improvements may be incorporated as individual elements, without reliance on the other inventive aspects disclosed herein.

Un sistema di controllo di temperatura per un reattore termico è rilevato che richiama molti dei problemi nell'arte. Secondo una moda del sistema di controllo rilevato, una pluralità di regolatori di temperatura è impiegata. Ogni regolatore di temperatura impiega uno o più modelli dinamici che sono ottimizzati per una data gamma di temperature. L'eccedenza della gamma di temperature che un regolatore particolare è ottimizzato è preferibilmente generalmente esclusiva dell'eccedenza delle gamme di temperature che altri regolatori della pluralità di regolatori di temperatura sono ottimizzati. Secondo un'altra moda del sistema di controllo, il sistema di controllo impiega aumentato dilaga la logica di traiettoria. Secondo un'altra moda del sistema di controllo, il sistema di controllo impiega un sensore di temperatura virtuale in caso di un guasto dei fissaggi del sensore di temperatura non-virtuale corrispondente. Sulla rilevazione di un guasto del sensore di temperatura non-virtuale, il sistema di controllo di temperatura sostituisce automaticamente un sensore di temperatura virtuale nel relativo posto come input del sistema di controllo. Secondo ancora più una moda del sistema di controllo di temperatura, il sistema di controllo è fornito di logica di controllo che commuta il modo di controllo del sistema in caso di un guasto di un elemento riscaldante. Tutta la funzione precedente di presente invenzione può essere unita in un singolo regolatore di temperatura. Alternativamente, questi miglioramenti del sistema di controllo di temperatura possono essere compresi come diversi elementi, senza ricorso alle altre funzioni inventive rilevate qui.

 
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< Semiconductor processing workpiece support with sensory subsystem for detection of wafers or other semiconductor workpieces

< Temperature control system for a thermal reactor

> Method for cleaning copper surfaces

> Method for electrochemically depositing metal on a semiconductor workpiece

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