A semiconductor article processor sprays processing chemicals on a semiconductor article or wafer within a chamber. A door with an inflatable resilient seal, seals the chamber closed during processing. A seal support on the door extends radially outwardly into the inflatable seal, to better hold the seal onto the door. Inflation pressures can be increased, and the accumulation of chemical residues around the inflatable seal are decreased. Consequently, the effectiveness and reliability of the inflatable seal is improved.

Un processeur d'article de semi-conducteur pulvérisent traiter des produits chimiques sur un article ou une gaufrette de semi-conducteur dans une chambre. Une porte avec un phoque résilient gonflable, phoques que la chambre s'est fermés pendant le traitement. Un support du joint sur la porte se prolonge radialement extérieurement dans le joint gonflable, pour améliorer la prise le joint sur la porte. Des pressions d'inflation peuvent être augmentées, et l'accumulation des résidus chimiques autour du joint gonflable sont diminuées. En conséquence, l'efficacité et la fiabilité du joint gonflable est améliorée.