A material not releasing gaseous organic substances during use is used as a filter medium and a sealing material for tightly sealing between the medium and a frame. Specifically, a synthetic paraffin not containing an aliphatic hydrocarbon having not more than 19 carbon atoms or less is used as a non-silicone type water repellent contained in a treatment agent for forming fibers into a cloth-like filter medium. A carboxylic acid ester having 400 or more molecular weight is used as a plasticizer and a phenolic compound having 300 or more molecular weight is used as an antioxidant to be added to the treatment agent and the sealing material. This enables that the gaseous organic substances are not present in a clean room, in a semiconductor production apparatus or in the like. Further, if the filter medium and the sealing material are formed of a material not releasing organic phosphorus compounds and boron compounds in the air, a clean room and a local facility particularly suitable for use in the production of semiconductors are provided.

Een materiaal dat geen gasachtige organische substanties vrijgeeft tijdens gebruik wordt gebruikt als filtermiddel en verzegelend materiaal voor strak het verzegelen tussen het middel en een kader. Specifiek, wordt een synthetische paraffine die geen alifatische koolwaterstof bevat die niet meer dan 19 koolstofatomen of minder heeft gebruikt als niet-siliconetype waterafweermiddel in een behandelingsagent voor het vormen van vezels in een doek-als filtermiddel. Een carboxylic zure ester die 400 of meer moleculegewicht heeft wordt gebruikt als plastificeermiddel en een phenolic samenstelling die 300 of meer moleculegewicht heeft wordt gebruikt als middel tegen oxidatie dat aan de behandelingsagent en het verzegelende materiaal moet worden toegevoegd. Dit laat toe dat de gasachtige organische substanties niet aanwezig in een schone ruimte, in een apparaat van de halfgeleiderproductie of in dergelijke zijn. Verder, als het filtermiddel en het verzegelende materiaal van een materiaal vrijgevend organische fosforsamenstellingen en borium geen samenstellingen in de lucht worden gevormd, worden een schone ruimte en een lokale faciliteit bijzonder geschikt voor gebruik in de productie van halfgeleiders verstrekt.