A cluster tool system having a computer memory. The memory has a variety of codes for operating a plasma immersion ion implantation chamber. In some embodiments, the cluster tool method also includes computer codes for a controlled cleaving process chamber, as well as others.

Um sistema da ferramenta do conjunto que tem uma memória de computador. A memória tem uma variedade dos códigos para operar uma câmara do implantation de íon da imersão do plasma. Em algumas incorporações, o método da ferramenta do conjunto inclui também códigos de computador para uma câmara process cleaving controlada, as.well.as outros.