An apparatus for processing a microelectronic workpiece, such as a semiconductor wafer, is set forth. The apparatus comprises a processing bowl that defines a processing chamber. A seal is provided to assist in removing fluids, such as processing fluids, from the processing chamber that are in the proximity of the seal. Further, the seal is provided to assist in preventing the fluids from entering the motor. To this end, flow generating threads and expulsion threads are provided at an end of a shaft assembly that is connected to be driven by the motor. A member substantially surrounds at least a portion of the flow generating threads and at least a portion of the expulsion threads. Together, the member defines a chamber with the shaft assembly. Rotation of the shaft assembly results in corresponding rotation of the flow generating threads and expulsion threads to drive fluids proximate the shaft assembly to an exhaust while concurrently assisting in preventing such fluids from entering the motor.

Een apparaat om een micro-electronisch werkstuk, zoals een halfgeleiderwafeltje te verwerken, wordt uiteengezet. Het apparaat bestaat uit een verwerkingskom die een verwerkingskamer bepaalt. Een verbinding wordt verstrekt om in het verwijderen van vloeistoffen, zoals verwerkingsvloeistoffen, uit de verwerkingskamer bij te wonen die in de nabijheid van de verbinding zijn. Verder, wordt de verbinding verstrekt om in het verhinderen van de vloeistoffen bij te wonen de motor in te gaan. Daartoe, worden de stroom draden produceren en de uitwijzingsdraden die verstrekt op een eind van een schachtassemblage die om door de motor wordt verbonden worden gedreven. Een lid omringt wezenlijk minstens een gedeelte van de stroom die draden produceert en minstens een gedeelte uitwijzingsdraden. Samen, bepaalt het lid een kamer met de schachtassemblage. De omwenteling van de schachtassemblage resulteert in overeenkomstige omwenteling van de stroom die draden en uitwijzingsdraden produceert om vloeistoffen te drijven naburig de schachtassemblage aan een uitlaat terwijl gelijktijdig het bijwonen in het verhinderen van dergelijke vloeistoffen de motor in te gaan.