A piezoelectric/elecrostrictive device comprising a driving portion to be
driven by a displacement of a piezoelectric/electrostrictive element, a
movable portion to be operated based on a drive of the driving portion,
and a fixing portion for holding the driving portion and the movable
portion. The driving portion comprises a pair of thin plate portions
facing each other, and a film-like piezoelectric/electrostrictive element
including at least a pair of electrode films and a
piezoelectric/electrostrictive film formed at least on the outer surface
of at least one thin plate portion of the thin plate portions. The fixing
portion is coupled with the movable portion via the driving portion, a
hole is defined by an inner wall of the driving portion, an inner wall of
the movable portion, and an inner wall of the fixing portion, and at least
one side of a piezoelectric operating portion of said
piezoelectric/electrostrictive element in a direction in which said thin
plate portion connects with said fixing portion with the movable portion
is structured to exist on the fixing portion or the movable portion. A
ratio a/b of the thickness a of said hole and the width b of said thin
plate portion is 0.5 to 20. Since the movable portion can be largely
operated, the device can be used as a displacement element which is hardly
affected by a harmful vibration in operation, and superior in mechanical
strength, handling property, impact resistance, and humidity resistance,
and a sensor element capable of detecting a vibration of the movable
portion with fine precision.
Een piezoelectric/elecrostrictive apparaat bestaand uit een drijfgedeelte dat door een verplaatsing van een piezoelectric/electrostrictive element moet worden gedreven, uit een beweegbaar in werking te stellen gedeelte gebaseerd op een aandrijving van het drijfgedeelte, en uit een bevestigend gedeelte voor het houden van het drijfgedeelte en het beweegbare gedeelte. Het drijfgedeelte bestaat uit een paar dunne plaatgedeelten die elkaar onder ogen zien, en uit een film-als piezoelectric/electrostrictive element met inbegrip van minstens een paar van elektrodenfilms en een piezoelectric/electrostrictive film die op zijn minst op de buitenoppervlakte van minstens één dun plaatgedeelte wordt gevormd dunne plaatgedeelten. Het bevestigende gedeelte wordt gekoppeld aan het beweegbare gedeelte via het drijfgedeelte, wordt een gat bepaald door een binnenmuur van het drijfgedeelte, een binnenmuur van het beweegbare gedeelte, en een binnenmuur van het bevestigende gedeelte, en minstens één kant van een piezoelectric werkend gedeelte van bovengenoemd piezoelectric/electrostrictive element in een richting waarin het bovengenoemde dunne plaatgedeelte aan bovengenoemd bevestigend gedeelte met het beweegbare gedeelte verbindt is gestructureerd om op het bevestigende gedeelte of het beweegbare gedeelte te bestaan. Een verhouding a/b van de dikte a van bovengenoemd gat en de breedte B van bovengenoemd dun plaatgedeelte is 0,5 tot 20. Aangezien het beweegbare gedeelte grotendeels kan worden in werking gesteld, kan het apparaat als een verplaatsingselement worden gebruikt dat nauwelijks door een schadelijke trilling in verrichting, en meerdere in mechanische sterkte, behandelend bezit, effectweerstand, en vochtigheidsweerstand wordt beïnvloed, en een sensorelement geschikt om een trilling van het beweegbare gedeelte met fijne precisie te ontdekken.