An effluent gas stream treatment system for treatment of gaseous effluents such as waste gases from semiconductor manufacturing operations. The effluent gas stream treatment system comprises a pre-oxidation treatment unit, which may for example comprise a scrubber, an oxidation unit such an electrothermal oxidizer, and a post-oxidation treatment unit, such as a wet or dry scrubber. The effluent gas stream treatment system of the invention may utilize an integrated oxidizer, quench and wet scrubber assembly, for abatement of hazardous or otherwise undesired components from the effluent gas stream. Gas or liquid shrouding of gas streams in the treatment system may be provided by high efficiency inlet structures.

Ein Strom-Behandlungsystem des abfliessenden Gases für Behandlung der gasförmigen Abflüsse wie Abgase von den Halbleiterherstellung Betrieben. Das Strom-Behandlungsystem des abfliessenden Gases enthält eine Voroxidation Behandlungmaßeinheit, die einen Wäscher, eine Oxidation Maßeinheit solch ein elektrothermischer Oxidizer und eine Pfosten-Oxidation Behandlungmaßeinheit zum Beispiel enthalten kann, wie ein nasser oder trockener Wäscher. Das Strom-Behandlungsystem des abfliessenden Gases der Erfindung kann einen integrierten Oxidizer verwenden, Wäscher, für Abnahme der gefährlichen oder anders unerwünschten Bestandteile vom Strom des abfliessenden Gases löschen und naßmachen. Gas oder das flüssige Einhüllen der Gasströme in das Behandlungsystem können von den hohe Leistungsfähigkeit Eingang Strukturen zur Verfügung gestellt werden.