A method and apparatus for supporting, cleaning and/or drying a polishing
pad used for planarizing a microelectronic substrate. In one embodiment,
the apparatus can include a cleaning head positioned adjacent a
post-operative portion of the polishing pad to clean and/or dry the rear
surface of the polishing pad. The cleaning head can include a heat source,
a mechanical contact element, and/or orifices that direct fluid and/or gas
toward the rear surface. The apparatus can further include a vessel
through which the rear surface of the polishing pad passes to clean the
rear surface. The apparatus can also include a flow passage in fluid
communication with a region between the polishing pad and a support pad
upon which the polishing pad rests during planarization. Gas moves through
the flow passage toward or away from an interface region between the
polishing pad and the support pad to draw the polishing pad toward or away
from the support pad.
Μια μέθοδος και μια συσκευή για, ή/και ένα γυαλίζοντας μαξιλάρι που χρησιμοποιείται για ένα μικροηλεκτρονικό υπόστρωμα. Σε μια ενσωμάτωση, οι συσκευές μπορούν να περιλάβουν ένα καθαρίζοντας κεφάλι που τοποθετείται δίπλα σε μια post-operative μερίδα του γυαλίζοντας μαξιλαριού για να καθαρίσει ή/και να ξεράνει την οπίσθια επιφάνεια του γυαλίζοντας μαξιλαριού. Το καθαρίζοντας κεφάλι μπορεί να περιλάβει μια πηγή θερμότητας, ένα μηχανικό στοιχείο επαφών, ή/και τα στόμια που άμεσο ρευστό ή/και αέριο προς την οπίσθια επιφάνεια. Οι συσκευές μπορούν περαιτέρω να περιλάβουν ένα σκάφος μέσω του οποίου η οπίσθια επιφάνεια του γυαλίζοντας μαξιλαριού περνά για να καθαρίσει την οπίσθια επιφάνεια. Οι συσκευές μπορούν επίσης να περιλάβουν μια μετάβαση ροής στη ρευστή επικοινωνία με μια περιοχή μεταξύ του γυαλίζοντας μαξιλαριού και ενός μαξιλαριού υποστήριξης επάνω στα οποία το γυαλίζοντας μαξιλάρι στηρίζεται κατά τη διάρκεια του planarization. Αέριο κινήσεις μέσω της μετάβασης ροής προς ή μακρυά από μια περιοχή διεπαφών μεταξύ του γυαλίζοντας μαξιλαριού και του μαξιλαριού υποστήριξης για να σύρει το γυαλίζοντας μαξιλάρι προς ή μακρυά από το μαξιλάρι υποστήριξης.
