A reflector structure is provided for improving irradiation uniformity of a
linear lamp array applied in a semiconductor process. The reflector
structure includes a central reflector, two side reflectors, and two
inclined reflectors. The central reflector is horizontally set above the
linear lamp array at a first predetermined distance from a wafer for
reflecting light irradiated from a central part of the linear lamp array
to the wafer. The two side reflectors are horizontally set above the
linear lamp at a second predetermined distance to the wafer, wherein the
second predetermined distance is less than the first predetermined
distance, and respectively connected to two opposite side parts of the
central reflector for reflecting light irradiated from side parts of the
linear lamp array to the wafer. The two inclined reflectors are
respectively connected to one side of each of the two first side
reflectors at an inclined angel to the wafer for reflecting light
irradiated from two end parts of the linear lamp array to the wafer.
Структура рефлектора обеспечена для улучшать единообразие облучением линейного блока светильника приложенного в процессе полупроводника. Структура рефлектора вклюает центральный рефлектор, оба рефлектора стороны, и 2 inclined рефлектора. Центральный рефлектор горизонтально установлен над линейным блоком светильника на первом предопределил расстояние от вафли для отражая света облученного от центральной части линейного блока светильника к вафле. Оба рефлектора стороны горизонтально установлены над линейным светильником на втором предопределенном расстоянии к вафле, при котором второе предопределило расстояние чем первое предопределило расстояние, и соответственно соединилось до 2 противоположных бортовых части центрального рефлектора для отражая света облученного от бортовых частей линейного блока светильника к вафле. 2 inclined рефлектора соответственно соединены до одна сторона каждого из 2 первых бортовых рефлекторов на inclined ангеле к вафле для отражая света облученного от 2 частей конца линейного блока светильника к вафле.
