An improved anode, cup and conductor assembly for a reactor vessel includes an anode assembly supported within a cup which holds a supply of process fluid. The cup is supported around its perimeter within the reactor vessel. The anode assembly has an anode shield carrying an anode. The anode shield and the anode are supported from below by a delivery tube which also serves to deliver process fluid to the cup. A bayonet connection is provided between a top portion of the delivery tube and the anode assembly. The fluid delivery tube has a fixed height within the vessel. The anode elevation is adjusted by the interposing of a spacer of desired thickness between the anode and the tube. An electrical conductor is connected to the anode, and passes through the tube to be electrically accessible outside the vessel. The conductor is connected to the anode with a plug-in connection which is completed when the tube is coupled to the anode by the bayonet connection.

Un ensemble amélioré d'anode, de tasse et de conducteur pour un navire de réacteur inclut une anode soutenue dans une tasse qui tient un approvisionnement en fluide de processus. La tasse est soutenue autour de son périmètre dans le navire de réacteur. L'anode a un bouclier d'anode porter une anode. Le bouclier d'anode et l'anode sont soutenus de dessous près un ajutoir qui sert également à livrer le fluide de processus dans la tasse. Un raccordement de baïonnette est fourni entre une partie supérieure de l'ajutoir et l'anode. L'ajutoir liquide a un à altitude fixe dans le navire. L'altitude d'anode est ajustée par l'interposition d'une entretoise d'épaisseur désirée entre l'anode et le tube. Un conducteur électrique est relié à l'anode, et traverse le tube pour être électriquement accessible en dehors du navire. Le conducteur est relié à l'anode à un raccordement embrochable qui est accompli quand le tube est couplé à l'anode par le raccordement de baïonnette.

 
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< Systems and methods for processing workpieces

< Reactor vessel having improved cup, anode and conductor assembly

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> Solution for cleaning metallized microelectronic workpieces and methods of using same

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