An apparatus is set forth for providing access to individual workpiece
positions in a microelectronic workpiece cassette. The assembly comprises
a workpiece cassette inventory assembly having a plurality of cassette
inventory cassette supports, which are selectively aligned with the
staging cassette supports of a workpiece staging assembly. This allows a
plurality of cassettes to be separately indexed, thereby enabling the
workpiece staging assembly to access multiple cassettes and process a
larger number of microelectronic workpieces between loading/unloading
cycles that require user activity.
Een apparaat wordt uiteengezet voor het verlenen van toegang tot individuele werkstukposities in een micro-electronische werkstukcassette. De assemblage bestaat uit een de inventarisassemblage die van de werkstukcassette een meerderheid van de cassettesteunen van de cassetteinventaris heeft, die selectief worden gericht op de opvoerende cassettesteunen van een werkstuk opvoerende assemblage. Dit laat een meerderheid van cassettes toe om afzonderlijk worden geïndexeerd, daardoor toelatend de werkstuk opvoerende assemblage om tot veelvoudige cassettes toegang te hebben en een groter aantal micro-electronische werkstukken tussen laden en lossencycli te verwerken die gebruikersactiviteit vereisen.