An apparatus is set forth for providing access to individual workpiece positions in a microelectronic workpiece cassette. The assembly comprises a workpiece cassette inventory assembly having a plurality of cassette inventory cassette supports, which are selectively aligned with the staging cassette supports of a workpiece staging assembly. This allows a plurality of cassettes to be separately indexed, thereby enabling the workpiece staging assembly to access multiple cassettes and process a larger number of microelectronic workpieces between loading/unloading cycles that require user activity.

Een apparaat wordt uiteengezet voor het verlenen van toegang tot individuele werkstukposities in een micro-electronische werkstukcassette. De assemblage bestaat uit een de inventarisassemblage die van de werkstukcassette een meerderheid van de cassettesteunen van de cassetteinventaris heeft, die selectief worden gericht op de opvoerende cassettesteunen van een werkstuk opvoerende assemblage. Dit laat een meerderheid van cassettes toe om afzonderlijk worden geïndexeerd, daardoor toelatend de werkstuk opvoerende assemblage om tot veelvoudige cassettes toegang te hebben en een groter aantal micro-electronische werkstukken tussen laden en lossencycli te verwerken die gebruikersactiviteit vereisen.

 
Web www.patentalert.com

< Apparatus and methods for controlling workpiece surface exposure to processing liquids during the fabrication of microelectronic components

< Method and apparatus for processing a microelectronic workpiece including an apparatus and method for executing a processing step at an elevated temperature

> System for processing a workpiece

> Systems and methods for processing workpieces

~ 00049