An apparatus for processing a workpiece in a micro-environment includes a workpiece housing connected to a motor for rotation. The workpiece housing forms a substantially closed processing chamber where one or more processing fluids are distributed across at least one face of the workpiece by centrifugal force generated during rotation of the housing. Multiple housings may be vertically stacked and rotated about a common rotation axis to simultaneously process multiple workpieces in a small space.

Un aparato para procesar un objeto en un microambiente incluye una cubierta del objeto conectada con un motor para la rotación. La cubierta del objeto forma un compartimiento de proceso substancialmente cerrado donde unos o más líquidos de proceso son distribuidos a través por lo menos de una cara del objeto por la fuerza centrífuga generada durante la rotación de la cubierta. Las cubiertas múltiples se pueden apilar y rotar verticalmente sobre un eje de rotación común a los objetos múltiples simultáneamente de proceso en un espacio pequeño.