A substrate processing apparatus that includes an outer tank, an inner tank, and opposed electrodes. The inner tank is provided in the outer tank and the opposed electrodes are provided in the inner tank. A distance between the opposed electrodes can be changed in a state in which the inner tank can completely confine plasma therein. The inner tank includes first and second inner tank constituent members, and the state in which the inner tank can completely confine plasma therein is established by superposing a side wall of the second inner tank constituent member on a side wall of the first inner tank constituent member.

Uma carcaça que processa o instrumento que inclui um tanque exterior, um tanque interno, e os elétrodos opostos. O tanque interno é fornecido no tanque exterior e os elétrodos opostos são fornecidos no tanque interno. Uma distância entre os elétrodos opostos pode ser mudada em um estado em que o tanque interno pode completamente confinar o plasma nisso. O tanque interno inclui membros constituent do tanque primeiramente e em segundo interno, e o estado em que o tanque interno pode completamente confinar o plasma nisso é estabelecido superposing uma parede lateral do membro constituent do segundo tanque interno em uma parede lateral do primeiro membro interno do constituent do tanque.