To reduce noise in measurements obtained by probing a device supported on surface of a thermal chuck in a probe station, a conductive member is arranged to intercept current coupling the thermal unit of the chuck to the surface supporting the device. The conductive member is capacitively coupled to the thermal unit but free of direct electrical connection thereto.

Pour réduire le bruit dans les mesures obtenues en sondant un dispositif soutenu sur la surface d'un mandrin thermique dans une station de sonde, un membre conducteur est arrangé pour arrêter le courant couplant l'unité thermique du mandrin sur la surface soutenant le dispositif. Le membre conducteur est capacitively couplé à l'unité thermique mais exempt du raccordement électrique direct là-dessus.