A system and associated method for aligning semiconductor wafers and wafer-like objects relative to a transport mechanism. An image of, for example, a wafer is acquired, digitized, and stored in a computer as an array of pixels, each pixel representing a point on the image. Data points along the edge of the wafer are extracted and used to geometrically estimate the center of the wafer object. The estimated wafer center is then compared to the position of a predetermined reference position to determine an offset. Using this information, the wafer transport mechanism can then be re-adjusted to pick up the wafer on the corrected center.

Система и associated метод для выравнивать вафли полупроводника и вафл-kak предметы по отношению к механизму перехода. Изображение, например, вафля приобретено, digitized, и сохранено в компьютере как блок пикселов, каждый пиксел представляя пункт на изображении. Частнй значение вдоль края вафли извлечены и использованы геометрически для того чтобы оценить центр предмета вафли. Оцененный центр вафли после этого сравнен к положению предопределенного положения справки для того чтобы обусловить смещение. Использующ эту информацию, механизм перехода вафли можно после этого подрегулировать к выбирает вверх вафлю на исправленном центре.

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Robot, identifying environment determining method, and program thereof

> Long reach welding torch and method for selecting torch shape

> (none)

~ 00059