A system and associated method for aligning semiconductor wafers and
wafer-like objects relative to a transport mechanism. An image of, for
example, a wafer is acquired, digitized, and stored in a computer as an
array of pixels, each pixel representing a point on the image. Data points
along the edge of the wafer are extracted and used to geometrically
estimate the center of the wafer object. The estimated wafer center is
then compared to the position of a predetermined reference position to
determine an offset. Using this information, the wafer transport mechanism
can then be re-adjusted to pick up the wafer on the corrected center.
Система и associated метод для выравнивать вафли полупроводника и вафл-kak предметы по отношению к механизму перехода. Изображение, например, вафля приобретено, digitized, и сохранено в компьютере как блок пикселов, каждый пиксел представляя пункт на изображении. Частнй значение вдоль края вафли извлечены и использованы геометрически для того чтобы оценить центр предмета вафли. Оцененный центр вафли после этого сравнен к положению предопределенного положения справки для того чтобы обусловить смещение. Использующ эту информацию, механизм перехода вафли можно после этого подрегулировать к выбирает вверх вафлю на исправленном центре.