The present invention provides an apparatus and method for substrate transport. In systems according to the invention, at least a first and second chamber are provided. The first chamber may be a load lock and the second chamber a processing chamber. A substrate transfer shuttle is provided and is moveable along a linear path defined by guide rollers between one position in the first chamber and another position in the second chamber. In this way, the substrate may be transferred, in both a forward and a reverse direction, between the first chamber and the second chamber. The substrate transfer shuttle is structured so that a substrate may be removed therefrom by moving a support in one of the chambers from a lowered position to an intermediate position, after which the substrate transfer shuttle may be removed from the chamber.

Die anwesende Erfindung stellt einen Apparat und eine Methode für Substrattransport zur Verfügung. In den Systemen entsprechend der Erfindung, mindestens werden ein erster und zweiter Raum zur Verfügung gestellt. Der erste Raum kann eine Last Verriegelung und der zweite Raum sein ein verarbeitenraum. Ein Substratübergangsdoppelventilkegel wird zur Verfügung gestellt und ist entlang einem linearen Weg beweglich, der durch Führerrollen zwischen einer Position im ersten Raum und einer anderen Position im zweiten Raum definiert wird. Auf diese Art kann das Substrat, in eine Vorwärts- und Rückwärtsrichtung, zwischen den ersten Raum und den zweiten Raum gebracht werden. Der Substratübergangsdoppelventilkegel wird strukturiert, damit ein Substrat durch das Verschieben einer Unterstützung in einem der Räume von einer gesenkten Position auf eine Zwischenposition daher entfernt werden kann, nachdem der Substratübergangsdoppelventilkegel vom Raum entfernt werden kann.