The present invention provides a discharge-pumped excimer laser device which includes a laser chamber filled with a laser gas that is deteriorated to a small extent, magnetic bearings and a motor that are resistant to the entry of dust particles, and parts that are held in contact with the laser gas and suffer little damage, and has a long service life. The discharge-pumped excimer laser device according to the present invention has a laser chamber (1) filled with a laserigas and housing at least a pair of main discharge electrodes (2, 2) for producing an electric discharge to be able to oscillate a laser beam, housings (6, 7) joined to opposite sides of the laser chamber (1), a cross flow fan (3) having opposite ends rotatably supported by magnetic bearings (8, 9, 10, 11) accommodated in the housings (6, 7), for producing a high-speed laser gas flow between the main discharge electrodes (2, 2), a motor (12) accommodated in the housing (7) for rotating the cross flow fan (3), laser gas flow passages (61, 62) extending through gaps between rotor side and stator side of the magnetic bearings (8, 9, 10, 11) and the motor (12) over an axial entire length of the housings (6, 7), and communicating with an interior of the laser chamber (1), a laser gas introduction passage (60) extending from the interior of the laser chamber (1) and communicating with the laser gas flow passages (61, 62), and filters (20, 20) disposed in the laser gas introduction passage (60).

De onderhavige uitvinding verstrekt een lossing-gepompt excimer laserapparaat dat een laserkamer omvat die met een lasergas dat wordt gevuld nauwelijks zijn verslechterd, magnetische lagers en een motor dat tegen de ingang van stofdeeltjes bestand zijn, en delen dat in contact met het lasergas wordt gehouden en aan weinig schade lijdt, en het lang de dienstleven heeft. Het lossing-gepompte excimer laserapparaat volgens de onderhavige uitvinding heeft een laserkamer (1) die met laserigas en huisvesting wordt gevuld minstens een paar hoofdlossingselektroden (2, 2) voor het veroorzaken van een elektrische lossing een laserstraal, huisvesting kunnen oscilleren (6, 7) toegetreden aan tegenovergestelde kanten van laserkamer (1), een dwarsstroomventilator (3) tegenover einden draaibaar ondersteunend door magnetische lagers (8..9..10, 11) aangepast in de huisvesting (6, 7), voor het veroorzaken van een het gasstroom van de hoge snelheidslaser tussen de belangrijkste lossingselektroden (2, 2), een motor (12) die in huisvesting (7) voor het roteren van de dwarsstroomventilator wordt aangepast tussen rotorkant en statorkant van de magnetische lagers (8..9..10, 11) en motor (12) over een as volledige lengte van de huisvesting (6, 7), en het communiceren met een binnenland van laserkamer (1) die, een de inleidingspassage van het lasergas (60) zich van het binnenland van laserkamer (1) uitbreidt en met de de stroompassages van het lasergas (61..62 communiceert), en filters (20, 20) geschikt in de inleidingspassage van het lasergas (60).