A method of fabricating a microstructured optical fiber is described in
which a plurality of solid silica wafers are generated corresponding to
longitudinally consecutive portions of the optical fiber, separately
etched with void patterns in a lithographic process, and bonded together
into a preform. The preform is then drawn to form the optical fiber. The
lithographic process used to form the void patterns in the wafers may be
any of several processes currently or prospectively used in VLSI
fabrication. Such lithographic process may be used because the wafers
comprise silica glass or other material common in VLSI devices and, in
accordance with a preferred embodiment, are generated with thicknesses
highly amenable to such fabrication methods. The wafers are preferably
generated by creating a preliminary preform having the desired material
refractive index profile using conventional preform fabrication methods,
the wafers then being sliced from the preliminary preform. Other methods
such as flame hydrolysis process or a chemical vapor deposition process
may also be used to generate the wafers.
Eine Methode des Fabrizierens von von a microstructured optische Faser wird beschrieben, in der eine Mehrzahl der festen Silikonoblaten erzeugtes Entsprechen den longitudinal nachfolgenden Teilen der optischen Faser sind, separat geätzt mit leeren Mustern in einem lithographischen Prozeß, und in einen Preform zusammen abgebunden. Der Preform wird dann gezeichnet, um die optische Faser zu bilden. Der lithographische Prozeß, der verwendet wird, um die leeren Muster in den Oblaten zu bilden, kann irgendwelche einiger Prozesse in der VLSI Herstellung z.Z. oder voraussichtlich zu verwenden. Solcher lithographischer Prozeß kann verwendet werden, weil die Oblaten Silikonglas enthalten, oder anderes Material allgemein in den VLSI Vorrichtungen und, in Übereinstimmung mit einer bevorzugten Verkörperung, werden erzeugt mit den Stärken, die solchen Herstellung Methoden in hohem Grade zugänglich sind. Die Oblaten werden vorzugsweise erzeugt, indem man einen einleitenden Preform herstellt, der das gewünschte materielle Brechungsindex Profil mit herkömmlichen Preformherstellung Methoden, die Oblaten hat, die dann vom einleitenden Preform geschnitten werden. Andere Methoden wie Flammehydrolyseprozeß oder ein Absetzungprozeß des chemischen Dampfes können auch verwendet werden, um die Oblaten zu erzeugen.